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Inspec-DK Series
Inspec-DK7G
Inspec-DK4G


 
 
 
 
 

 
 
為測量LCD用Glass的尺寸, Edge的研磨量,以及彎曲的非接觸三坐標測量機
適用于使用Granite基板, Linear Motor的Air Bearing Stage.
適用于絕斷震動的Passive Type Isolator.
適用于Vacuum Chuck及Glass Pin up/down Module .
適用于Continuous Image Auto-Focus Module.
適用于利用高性能CCD攝像頭及Optical Sensor的非接觸式測量方法.
 


 
 
項目 Inspec-DK4G
測量范圍 X
Y
Z
1000 mm
1200 mm
200 mm
最大玻璃測量尺寸 Up to Gen4 Glass(730x920 mm)
分辨率 0.1 ㎛
測量精度 Align Key ± 1 ㎛ (3 σ)
Straightness ± 3 ㎛ (3 σ)
研磨量 ± 3 ㎛ (3 σ)
Flatness ± 10 ㎛ (3 σ)
重復精度 ± 1.0 ㎛ (3 σ)
最大驅動速度 X,Y
Z
400 mm/s
200 mm/s
畫像檢出 B&W先進掃描CCD攝像頭
照明裝置 高亮度LED程序控制環照明
高亮度LED程序控制側射照明
單次測量裝置 Laser Displacement Sensor (分辨率: 0.05 ㎛)
最大承重 30 kg
外圍尺寸 X
Y
Z
1980 mm
1750 mm
1810 mm
設備重量 4,500 kg
 

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