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Inspec-DK Series
Inspec-DK7G
Inspec-DK4G


 
 
 
 
 

 
 
為測量LCD用Glass的尺寸,彎曲的非接觸三坐標測量機.
適用于使用Granite基板, Linear Motor的Air Bearing Stage.
適用于絕斷震動的Passive Type Isolator.
適用于Vacuum Chuck及Glass Pin up/down Module.
適用于Continuous Image Auto-Focus Module.
適用于利用高性能CCD攝像頭及Optical Sensor的非接觸式測量方法.
 


 
 
項目
Inspec-DK7G
測量范圍
X
Y
Z
1920 mm
2250 mm
200 mm
最大玻璃測量尺寸
Up to Gen7 Glass(1920x2250 mm)
分辨率
0.1 ㎛
測量精度
Align Key
± 1 ㎛ (3 σ)
Straightness
± 3 ㎛ (3 σ)
Flatness
± 10 ㎛ (3 σ)
重復精度
± 1.0 ㎛ (3 σ)
最大驅動速度
X,Y
Z
400 mm/s
200 mm/s
畫像檢出
B&W先進掃描CCD攝像頭
照明裝置
高亮度LED程序控制環照明
高亮度LED程序控制側射照明
單次測量裝置
Laser Displacement Sensor
(分辨率: 0.05 ㎛)
最大承重
50 kg
外圍尺寸
X
Y
Z
3115 mm
3400 mm
2100 mm
設備重量
13,000 kg
 
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