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Gen8
DKGA-GEN4
DKL


 
 
 
 
 

 
 
作為LCD及PDP測量/檢查用設備,適用于Linear Motor的 LM Guide Gantry Type Stage.
各軸用大理石構成熱變形及下垂最小化.
適用于防止震動的Passive Type Isolator
(Active Type Isolator Option).
適用Vacuum Chuck及Sample Pin up/down(Option).
X軸可適用3個(Option).
 


 
 
項目
DKL-7Gen
DKL-8Gen
移動距離
X
Y
Z
1950 mm
2250 mm
200 mm
X
Y
Z
2400 mm
2600 mm
200 mm
最大適用玻璃尺寸
1950 x 2250
2200 x 2600
分辨率
0.1 ㎛
0.1 ㎛
最大速度
X
Y
Z
500 mm/sec
500 mm/sec
300 mm/sec
X
Y
Z
500 mm/sec
500 mm/sec
300 mm/sec
最大加速度
X
Y
Z
0.4 G
0.2 G
0.1 G
X
Y
Z
0.4 G
0.2 G
0.1 G
位置精度
< ± 3.0 um
< ± 3.0 um
重復精度
< ± 1.5 um
< ± 1.5 um
Squareness
< ± 5 arc-sec
< ± 5 arc-sec
Pitch and Roll
< ± 5 arc-sec
< ± 5 arc-sec
Yaw
< ± 5 arc-sec
< ± 5 arc-sec
外圍尺寸
X
Y
Z
3115 mm
3400 mm
1823 mm
X
Y
Z
3323 mm
3600 mm
1823 mm
設備重量
8000
9500
* Controller : DKS(德仁開發), UMAC, PMAC 可適用
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