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Gen8
DKGA-GEN4
DKL


 
 
 
 
 

 
 
作為LCD及PDP工程用設備,適用于Linear Motor的 Air Bearing Gantry Type Stage.
為確保精度使用Laser Scale.(Option)
各軸用大理石構成熱變形及下垂最小化.
適用于防止震動的Passive Type Isolator.
(Active Type Isolator Option)
適用Vacuum Chuck及Sample Pin up/down.(Option)
可實現工程裝置與Stage 移動同期化(Option)
 


 
 
項目
Specification
移動距離
X
Y
Z
2400 mm
2600 mm
 100 mm
最大適用玻璃尺寸
Up to Gen8 Glass(2146 x 2460 mm)
分辨率
X
Y
Z
 0.1 ㎛
0.02 ㎛
 0.1 ㎛
最大驅動速度
X
Y
Z
600 mm/s
150 mm/s
300 mm/s
速度波
X
Y
± 0.15%(LM Guide)
± 0.10%(Air Bearing)
最大加速度
X
Y
0.3 G
0.3 G
位置精度(保證后)
< ± 1.5 ㎛ (Full travel range)
Scanning (X)精度
< ± 0.5 ㎛
Translation (Y)精度
< ± 0.5 ㎛
Straightness
< ± 4 ㎛
Chuck Flatness
< ± 100 ㎛
外圍尺寸
X
Y
Z
3600 mm
5400 mm
2100 mm
 
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