武汉一条龙微信交流群|武汉一条龙服务
 
主頁| 聯系方式| 網站地圖| 信息公告| 有問必答| 郵箱   한국인 |  ENGLISH      
SLS-200
SLS-500


 
 
 
 
 

 
 
Air Bearing Stage 適用
Auto Focus System 適用
Glass Alignment Tool 適用
Position Based Triggering 適用
6” Wafer用
Poly-Si 結晶化用
 


項目
SLS-200
Stage
Travel length
X
160 mm
Y
160 mm
Resolution
X
0.05 um
Y
0.01 um
Accuracy
Full
± 1 um
100mm
± 0.1 um
Max. Velocity
X
100 mm/s
Y
50 mm/s
Settling Time
0.20 sec
Chuck Flatness
± 5 um
Optics
Beam Field Size
2 mm x 2 mm
Resolution
Lines
2 um
Spaces
2 um
Homogeneity
± 5 %
Depth of Focus
27 um
Laser Energy Density
1.0J/cm2
Laser
Power
40.5W (100Hz x 0.405J/p)
Wave Length
308nm (XeCl)
ELA安裝過程
【友情鏈接】 計量論壇   中國機械設備網   中華機械網   中國行業信息網   國際模具網   中國計量儀器信息網  
【快速通道】 常規三坐標    超精密三坐標測量機    水平臂式三坐標測量機    非接觸式三次元    三坐標測量儀   NeuroMeasure測量軟件   三坐標學習視頻   三坐標售后服務
 版權所有  濟南德仁三坐標測量機有限公司  Copyright © Dukin Co., Ltd.  All Rights Reserved  [email protected]  

魯ICP備16030676號-1

        

魯公網安備 37010202001604號

網頁版手機版
武汉一条龙微信交流群 雅虎nba比分 比分直播篮球直播 雪缘园比分直播 7m篮球比分网 七星彩 北京赛车 nba比分直播及数据 云南快乐十分 雷速体育直播网页 足彩即时赔率哪个网站好 网球比分直播第一捷报网 8波体育比分网 极速十一选五 中国足彩网比分直播新浪 nba比分网即时比分直播 甘肃快三